سه نوع اصلی لیزر UV وجود دارد.
لیزر حالت جامد پمپ شده دیود
اولین مورد یک لیزر حالت جامد پمپ شده با دیود (DPSS) Nd: YAG Q-Switch است که در آن از کریستال های تکراری برای تغییر طول موج مادون قرمز 1064 نانومتر و تغییر آن به طول موج فرابنفش 355 نانومتر استفاده می شود.
شکل پرتو گاوسی است، بنابراین نقطه گرد و با شدت انرژی از مرکز به سمت لبه به تدریج کاهش می یابد. پرتو را می توان روی نقاطی به اندازه 10 میکرومتر متمرکز کرد.
در اصل، مانند تمام لیزرهای حالت جامد، این لیزرهای فرابنفش نیز به تغییرات دما حساس هستند.
سرعت تکرار بالای عملیات و ناحیه بسیار کوچکی که بر روی آن کار می کنند، این لیزرها را برای ریزماشین کاری مناسب تر می کند.
لیزر اگزایمر
نوع دوم لیزر UV یک لیزر گازی است، لیزر اگزایمر. طول موج این لیزر به نوع مخلوط گاز مورد استفاده بستگی دارد و از 180 نانومتر تا بیش از 300 نانومتر متغیر است.
پرتو تولید شده گرد نیست، بلکه دارای شکل مستطیلی با توزیع شدت کم و بیش ثابت است. از ماسک ها می توان برای ایجاد هندسه نقطه ای خاص استفاده کرد.
لیزر بخار فلزی
سومین نوع لیزر UV لیزر بخار فلزی است. لیزر بخار مس بیشترین استفاده را دارد، اگرچه بخار بسیاری از فلزات دیگر نیز قابل استفاده است.
لیزرهای بخار مس تشعشعاتی در طول موج 511 نانومتر و 578 نانومتر تولید می کنند. شکل پرتو گاوسی است که لیزر را برای کاربردهای مشابه لیزر فرابنفش حالت جامد مناسب می کند.